在硅片缺陷检测中，主要分为表检跟隐裂两个部分，通过进口定制工业相机及镜头结合红外技术与特殊波段光源对硅片进行成像，后续软件通过深度学习硅片缺陷进行自学习并对图像实时分析处理，根据检测标准，输出检测结果。
